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產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設備
產品型號: SRH-420MC
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹
成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設備SRH-420MC
成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設備
的詳細介紹
濺射裝置負載鎖定型
背面/安裝濺射設備SRH系列
背面/貼裝濺射裝置 SRH 系列是以形成功率器件、WL-CSP、UBM 等金屬膜為目的的量產裝置。
特征
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兼容Φ125至Φ200 mm板
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兼容超薄晶圓（兼容自動轉移*厚50μm）
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*多支持5個進程
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可配備 ISM 方法的濺射蝕刻
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可以通過 ESC 進行高效冷卻
采用
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電源裝置
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WL-CSP（用于電鍍種子層）
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UBM（阻隔金屬）
