特征

• 通過采用容量為40cc和10cc的4點切換式爐床，可以沉積多層膜。
• 由于電子束被電磁場偏轉，二次電子對沉積材料的影響極小。
• 通過掃描X軸和Y軸上的束斑，即使是可升華的物質也可以順利蒸發(fā)，消除挖掘現(xiàn)象。
• 由于電子束的270°偏轉，它不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中，燈絲壽命長。
• 由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸，因此很容易更換燈絲和絕緣體。
• 可選裝爐床位置檢測機構，可實現(xiàn)爐床旋轉自動化。