成都西野供應(yīng);ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng);ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGL-35
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng);日本 ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍EGL-35
成都西野供應(yīng);ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
金屬膜用EB槍
EGL系列
EGL-35
ULVAC
電子束蒸發(fā)源 EGL-35 是基于 ULVAC 多年積累和成熟技術(shù)的性能和可靠性改進(jìn)。
該蒸發(fā)源有一個*大輸入功率為 10 kW 的爐膛。
由于坩堝容量高達(dá)每片40cc，因此可以高速沉積厚膜。
特征
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采用大容量 40cc 爐床，可進(jìn)行大量氣相沉積。
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由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對沉積材料的影響極小。
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即使對于可升華的物質(zhì)，掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點(diǎn)也可以消除挖掘現(xiàn)象并允許順利蒸發(fā)。（擁有日本磚利 831485 和 843447）
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由于電子束的270°偏轉(zhuǎn)，它不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中，燈絲壽命長。
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由于燈絲座可以很容易地安裝和拆卸，因此很容易更換燈絲和絕緣體。
