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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
產(chǎn)品型號: UNECS-3000A
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀UNECS-3000A


成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀  的詳細(xì)介紹

自動型

UNECS系列

UNECS-3000A

ULVAC

可映射測量的自動載物臺類型

UNECS系列是一種光譜橢偏儀,可以高速、高精度地測量薄膜的膜厚和折射率。
采用獨(dú)特的測量方法,實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途,我們有廣泛的產(chǎn)品陣容,從獨(dú)特的便攜型到自動平臺型和支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
UNECS-1500A / 2000A / 3000A 使用自動 R-θ 載物臺和自動對焦功能,可快速自動測量基材表面的膜厚分布,并以彩色  圖顯示結(jié)果。

特征

  • 高速測量:
    采用獨(dú)特的快照方式,實(shí)現(xiàn)了高達(dá)20ms的高速測量。
  • 可見光譜兼容:
    波長范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型(530nm至750nm)和可見光譜型(380nm至760nm)。
  • 緊湊型傳感器單元:
    發(fā)光傳感器非常輕巧緊湊,因?yàn)樗鼉H由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成,并且不需要定期維護(hù)。
  • 豐富的產(chǎn)品陣容:
    擁有獨(dú)特的便攜型、手動/自動平臺型、大型板型以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備等各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容。

采用

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量

規(guī)格

模型 1500A 2000A 3000A
波長范圍 530-750nm、380-760nm(二選一)
光斑直徑 Φ1mm、Φ0.3mm(任選其一)
入射角 固定在 70°
膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1nm
膜厚范圍 1nm~2μm
測量時間 光接收:20ms-3000ms 計(jì)算:300ms
階段 Φ150mm自動 Φ200mm自動 Φ300mm自動
自動測量 200 分 200 分 2,000 點(diǎn)
控制電腦 筆記本型(帶操作/分析軟件)
設(shè)備配置 測量體、控制器、操作電腦(筆記本型)、使用說明書(CD)

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