成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科油擴散泵

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科油擴散泵

產(chǎn)品型號: ULK-04A（油 D-11）

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

ULVAC 的 ULK 油擴散泵是一種高真空排氣泵，設(shè)計緊湊，具有較大的臨界背壓。它廣泛用于從研究應(yīng)用到生產(chǎn)線。

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科油擴散泵 的詳細(xì)介紹

油擴散泵

ULK系列

ULK-04A（油 D-11）

ULVAC

ULVAC 的 ULK 油擴散泵是一種高真空排氣泵，設(shè)計緊湊，具有較大的臨界背壓。
它廣泛用于從研究應(yīng)用到生產(chǎn)線。

特征

臨界背壓設(shè)計得很大。
在~ 10 ^-2 Pa (10 ^-4 torr) 時性能非常穩(wěn)定。
采用松套法蘭方式。（不包括ULK-04A和06A的排氣口法蘭）
泵可以很容易地清洗。（零件可以很容易地拆卸）
配備防止液壓油向輔助泵側(cè)流出的機構(gòu)。

采用

?薄膜沉積設(shè)備
?高真空實驗設(shè)備

規(guī)格

模型		ULK-04A		ULK-06A		ULK-10A		ULK-14A
排氣速度（升/秒）		550	500	1200	1100	3400	3000	5400	4900
極限壓力（Pa）* ¹		<2.6 x 10 ^-5	<2.6×10 ^-6	<2.6 x 10 ^-5	<2.6×10 ^-6	<2.6 x 10 ^-5	<2.6×10 ^-6	<2.6 x 10 ^-5	<2.6×10 ^-6
臨界背壓 (Pa)		40	60	40	60	35	40	30	30
工作開始時間（分鐘）		9	8.5 8.5	16.5	15	20	20	二十五	二十五
液壓油* ⁴		ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31
油量（L）		0.15		0.35		0.8 0.8		1.5 1.5
水溫（℃）		19℃～25℃
冷卻水進水口（尺寸）		RC 1/4"		RC 1/4"		RC 3/8"		RC 3/8"
冷卻水量（L/min）		1	1	1	1.5 1.5	2.5	3	2.5	3.5 3.5
電壓規(guī)格		200V / 1Φ
所需功率 (kW)		0.55	0.73	0.9。	1.2 1.2	2	2.4	2.25	2.4
加熱器類型		熱菜		熱菜		熱菜		熱菜
推薦輔助泵* ²		VD151 / VD201 PVD-180 / PVD-360		VD30C / VD40C / VD60C		VD90C VS1501 PKS-016 / PKS-030		VS1501 / VS2401 / PKS-030
外形尺寸 * ³ (mm)	一種	175		250		340		340
	乙	150		180		240		240
	H	344		449		650		670
進氣口		VG100		VG150		VG250		VG350
排氣口		VG25		VG40		VG80		VG80
質(zhì)量（公斤）		7.5 7.5		13.5		47 47		56
油位計		沒有		沒有		視口		視口
恒溫器選項		是的		是的		是的		是的
溫控器設(shè)定溫度（℃）		250		250		180		180

* 1 極限壓力是通過電離真空計測得的冷卻水量為 20°C 時的壓力。
* 2 此處選擇的輔助泵是針對擴散泵的*大流量，但一般情況下，考慮到粗抽時間，使用大于此處所示的機械增壓泵和油回轉(zhuǎn)真空。使用泵。
* 3 關(guān)于其他尺寸，請參閱我們網(wǎng)站上發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。
* 4 D-11是烴基通用油，D-31是硅基擴散泵油，具有高耐熱性和穩(wěn)定性。