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產(chǎn)品資料

成都西野供應ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野供應ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵
產(chǎn)品型號: PST系列PST-030CU
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

利用濺射的活性鈦的吸氣作用,在超高真空區(qū)域具有增強的排氣特性的泵。 通過優(yōu)化新元素和磁場,改善了極端和超高真空區(qū)域的排氣特性。


成都西野供應ULVAC愛發(fā)科飛濺離子泵  的詳細介紹

飛濺離子泵

PST系列

特征

  • 兼容極高的真空度。用 ISO 標準測試圓頂證明了10-9 Pa的極限壓力。
  • 惰性氣體排氣強化型(AU型)的排氣性能是氬氣的2倍。(與我們公司相比)
  • 在超高真空范圍內(nèi)實現(xiàn)較大的排氣速度。
  • 短時間內(nèi)排到超高真空區(qū)。
  • 在超高真空區(qū)具有出色的啟動特性。(放電持續(xù)到超高真空區(qū))

利用

  • 加速器
  • 電子顯微鏡
  • 電子束光刻系統(tǒng)
  • 不喜歡振動的分析設備
  • 使用超高真空環(huán)境等

規(guī)格

模型 PST-030CU PST-030AU PST-050CU PST-050AU PST-100CX PST-100AX
排放目標氣體 惰性氣體 惰性氣體 惰性氣體 惰性氣體 惰性氣體 惰性氣體
再生排氣速度 * 0.03m 3 / s 
2測量氣體時
0.013m 3 / s 
Ar 測量時
0.045m 3 / s 
2測量氣體時
0.016m 3 / s 
Ar測量
0.10m 3 / s 
2測量氣體時
0.05m 3 / s 
Ar測量
達到壓力 10 -9
運營壓力 推薦值 <8.0 × 10 -3 <5.0 x 10 -3
內(nèi)部容積 0.67 X 10 -33 1.3x10 -33 3.3x10 -33
泵元件數(shù)量 CU型電池×1套 AU 型電池 x 1 套 CU型電池×1套 AU 型電池 x 1 套 CX 型電池 x 1 套 AX 型電池 x 1 套
連接法蘭型號 UFC070 UFC114 UFC 152
外加電壓 直流+7.5kV
加熱器加熱器 無設置 單相AC200V、300W 單相AC200V,320W
標準烘烤
溫度
250℃
大量的 9.5 公斤 12公斤 37公斤
外形尺寸 W × D × H 103 x 183 x 187 毫米 153 x 204 x 241 毫米 155 x 336 x 340 毫米
使用環(huán)境 溫度范圍 5~40℃
濕度范圍 85%以下(無結露)

固定螺栓孔尺寸
4處-M5
深度10mm
4處-M8
深度6mm
推薦控制器 GST-07L-B

* 使用 GST-07L 控制器時

模型 PST-110AU PST-200CXII PST-200AXII PST-400CXII PST-400AXII
排放目標氣體 惰性氣體 惰性氣體 惰性氣體 惰性氣體 惰性氣體
再生排氣速度 * 0.11m 3 / s 
2測量氣體時
0.2m 3 / s 
2測量氣體時
0.02m 3 / s 
Ar 測量時
0.36m 3 / s 
2測量氣體時
0.19m 3 / s 
Ar測量
達到壓力 10-9_ 10 -10
運營壓力 推薦值 <4.5x10 -3 <3.8x10 -3 <3.0x10 -3
內(nèi)部容積 6.5x10 -33 11x10 -33 14x10 -33
泵元件數(shù)量 AU型電池x2 CX 型細胞 x 2 公式 AX 型電池 x 2 CX 型細胞 x 4 公式 AX 型電池 x 4 種
連接法蘭型號 UFC 152 UFC203
外加電壓 直流+7.5kV
加熱器加熱器 無設置 單相AC200V、600W 單相AC200V、800W
標準烘烤溫度 250℃
大量的 36.5公斤 65公斤 124公斤
外形尺寸 W × D × H 171 x 387 x 293 毫米 296 x 361 x 376 毫米 296 x 544 x 376 毫米
使用環(huán)境 溫度范圍 5~40℃
濕度范圍 85%以下(無結露)
泵固定螺栓孔尺寸 4處-M6
深度15mm
4位-M8
深15mm
6個位置-M8
深度15mm
推薦控制器 GST-07L-B

* 使用 GST-07L 控制器時

PST系列控制器

模型 GST-07L-B
輸入規(guī)格 輸入電壓/電流 AC100 ~ 115V ± 10% ? 50 / 60Hz ~ 3.0A
AC200-240V ± 10% ? 50 / 60Hz-1.5A
漏電流 6mA以下
輸入電壓切換方式 手動(通過電源內(nèi)部的 DIP 開關操作)
輸出規(guī)格 額定電壓 DC + 7.5kV(約1.0至7.5kV的可變體積)
額定電流 DC30mA以下
輸出極性 正極
輸出特性 恒壓特性
顯示方式 數(shù)顯(7段LED顯示)
顯示內(nèi)容 輸出電流顯示范圍 1μA~30mA(mA、μA 2檔自動切換)
輸出電壓顯示范圍 DC0.0-7.5kV
壓力顯示 帕顯示 1×10 -8 ~ 1×10 -2
mbar 顯示 1×10 -10~1×10 -4
壓力設定點 2 分
保護功能 配備錯誤顯示/多種保護功能
顯示屏點亮時高壓 (HV) 輸出截止 (Err. 0-8)
停電后恢復 當 HV-ON 開關打開時,可在斷電后自動恢復。
外控功能 具有多種輸入功能(帶REMOTE接口),配備RS232C通訊控制
MONITOR 端子輸出信號 輸出與面板 7 段顯示成比例的信號,每個范圍 DC0 至 10VF.S。
容許負載阻抗 100 kΩ 以上
遠程/本地 通過前面板開關切換
冷卻方式 強制風冷方式
大量的 身體 4.0公斤
外形尺寸 寬 × 高 × 深 200 x 99 x 370mm(不包括機架安裝支架)
使用環(huán)境 溫度范圍 0-40℃
濕度范圍 85%以下(無結露)
符合標準 CE, cTUVus

排氣速度曲線

  • PST-030CU_AU
PST-030CU-AU_curve.png
  • PST-050CU_AUPST-050CU_curve.png
  • PST-100CX_AX
PST-100CX-AX_curve.png
  • PST-110AUPST-110AU_curve.png
  • PST-200CXII_AXIIPST-200CX-AX_curve.png
  • PST-400CXII_AXIIPST-400CX_curve.png

尺寸圖

  • PST-030CU_AUPST-030_JE1.png
  • PST-050CU_AUPST-050_E.png
  • PST-100CX_AXPST-100_E.png
  • PST-110AUPST-110_JE.png
  • PST-200CXII_AXIIPST-200_E.png
  • PST-400CXII_AXIIPST-400_E.png

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