ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

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產品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

產品型號: LR系列 LR3601-TR (TTR)

產品展商: ULVAC愛發(fā)科

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簡單介紹

日本ULVAC愛發(fā)科：真空泵 LR3601-TR (TTR) 干式真空泵 LR 系列通過使用我們獨特的高溫均熱技術有效地利用壓縮熱，在 CVD 和蝕刻等硬工藝中實現(xiàn)了高耐久性。在輕量化過程中，與 ECO-SHOCK 結合使用可將功耗降低多達 80% 左右。

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 的詳細介紹

多級羅茨干式真空泵

LR系列

LR3601-TR (TTR)

ULVAC

干式真空泵 LR 系列通過使用我們獨特的高溫均熱技術有效地利用壓縮熱，在 CVD 和蝕刻等硬工藝中實現(xiàn)了高耐久性。
在輕量化過程中，與 ECO-SHOCK 結合使用可將功耗降低多達 80% 左右。
此外，為了提高可維護性和降低噪音，所有型號都兼容 CE（可選）。
有關 ECO-SHOCK 的更多信息，請參閱相關信息。

特征

LR系列：
除低溫區(qū)均熱惰性氣體排氣外，*適用于制劑取出室排氣，縮短排氣時間對提高生產量尤為重要。
HR系列/UR系列：
可以在高溫區(qū)域以氣態(tài)排放熱化CVD、蝕刻等產生的升華廢氣。
1000毫秒內瞬間停電對策
CE 兼容（可選）

利用

惰性氣體（CVD、干法蝕刻等）
惰性氣體排放（濺射、氣相沉積、熱處理等）
縮短準備取出室的排氣時間（LR系列）
制粉過程中的排氣（Si單晶拉制等）
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

規(guī)格

型號名稱			LR1800	UR1800	LR3601	LR3601-TT	LR3601-R	LR3601-TR (TTR)	UR3601-TT
使用的泵	DRP		LR180	UR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T	UR421-T
	MBP		中國-018A		PRC-036C	PRC-036C (-T)	PRC-036D	PRC-036D (DT)	PRC-036C-T
*大排氣速度	米³ / 小時	50赫茲	1701	1701	3200				2700
		60赫茲	1784
	升/分鐘	50赫茲	28350	28350	53333				45000
		60赫茲	29700
達到壓力	帕		0.67
*大排氣壓力（吸入壓力）			氣壓 *
*大排氣口壓力（排氣壓力）			1Pa～大氣壓
進氣口 *			VG150 (KF100)	VG150
排氣口			KF40		KF50
干泵表面處理			○ ○	○ ○	○ ○	○ ○	○ ○	○ ○	○ ○
機械增壓泵表面處理			○ *	○ ○	×	T: × TT: ○	×	TR: × TTR: ○	○ ○
大量的	公斤		553		660	720	660	720	720
電力	三相	VAC (赫茲)	200 (50/60), 220 (60)		180-240 / 380-440 (50/60)
當前值	常規(guī)時間	一個	21.4	29.2	31		35.4		39.8
	*大值	一個	39.8	34.9	58.4		82		68.3
冷卻水一次壓力	兆帕		0.1 至 0.3		0.2 至 0.5
冷卻水進/出口壓差	兆帕		> 0.1		> 0.2
冷卻水流量	升/分鐘		> 5.0		> 4.0				> 5.0
吹掃氣體	初級壓力	兆帕	0.1-0.5
	二次壓力	兆帕	0.05-0.1
N ₂吹掃	軸	SLM	五
	氣漲	SLM	0-45	0-195	無 * 1	0-45	無 * 1	0-45	0-195

* 訂貨時請注明工作電壓。
* 請勿在 200 Pa 或更高的吸入壓力下連續(xù)運行 HR300、HR / UR600 和 HR / UR1200。泵溫度可能會變得異常，聯(lián)鎖裝置可能會工作。
* LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可選擇帶或不帶表面處理。
* JIS 法蘭是進氣口的標準。如果它是 CE 兼容的，它將是 NW 類型。
* 1 可用于氣體松動的規(guī)格可根據(jù)應用進行估算。

■ 消音器（選項）

模型	材料	表面處理	質量（公斤）	連接法蘭
RS-01	SUS304	GBB處理	4.1	NW40
RS-02	SUS304	GBB處理	8.3	NW40
RS-03	SUS304	拋光板	12.5	NW50

■ 型號兼容性表

套件名稱	擬合模型	夾鉗	外環(huán)	連接配管	停留
RS-01 套件 A	LR60、LR90、LR300	1	1	-	-
RS-01 套件 B	LR600、LR1200	2	2	1	1
RS-02 套件 A	LR180（LR60、LR90、LR300）	2	2	1	1
RS-02 套件 B	LR1800（LR600、LR1200）	2	2	1	1
RS-03 套件 A	LR421 (-T)	1	1	1	1
RS-03 套件 B	LR3601 (-T / TT / R / TR / TTR)	3	3	1	1