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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號: LR300
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
多級羅茨干式真空泵
LR系列
通過將泵體的熱量吸收在低溫區(qū)域,它是*適用于準(zhǔn)備取出室排氣的泵過程。
ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
的詳細(xì)介紹
多級羅茨干式真空泵
LR系列
LR
ULVAC
通過將泵體的熱量吸收在低溫區(qū)域,它是*適用于準(zhǔn)備取出室排氣的泵過程。
特征
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除了低溫區(qū)域的熱化(LR 系列) PVD 工藝外,它還非常適用于沖泡和取出室的排氣,其中縮短排氣時間對于提高產(chǎn)量尤其重要。
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由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封
罐裝電機,因此非常**。
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瞬時停電對策 采取1000msec以內(nèi)的瞬時停電對策。
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優(yōu)異的耐蝕性
主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。
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通訊功能
可以讀取與泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計算機通信,可以進行集中監(jiān)控。
利用
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成膜設(shè)備(濺射設(shè)備/蒸鍍設(shè)備等)
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縮短準(zhǔn)備外賣室的排氣時間
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作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣)