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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號: UR421-T
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
通過將熱量浸泡在泵體的高溫區(qū)域，可以將CVD、蝕刻等產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。
ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
的詳細介紹
多級羅茨干式真空泵
HR/UR系列
烏爾
ULVAC
通過將熱量浸泡在泵體的高溫區(qū)域，可以將CVD、蝕刻等產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。
特征
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可以在高溫區(qū)域以氣態(tài)排放通過熱化CVD、蝕刻等
產(chǎn)生的升華廢氣。
UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。
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由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機，因此非常**。
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瞬時停電對策：采取
1000msec以內(nèi)的瞬時停電對策。
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優(yōu)異的耐蝕性
主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。
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通訊功能：
可讀取與泵運行狀態(tài)和警告/報警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。
利用
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CVD設(shè)備
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蝕刻裝置
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灰化裝置
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ALD、ALH 等
規(guī)格
* 1 請勿在吸入壓力為 200 Pa 或更高的情況下連續(xù)運行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。
* 對于規(guī)格表中未列出的 UR 系列的訂單，請單獨檢查。
■ 操作方式
訂貨時請注明操作方式。（UR 系列的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置：3）
*1 UR421-T 和 UR3601-TT 的 N2 流量為 5 至 200 SLM。
